科探标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等
技术参数：
控制方式
| 手动控制/自动控制切换
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前级泵接口
| kf25（客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵）
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分子泵
| ff-100/150 51000转/分
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分子泵抽气速率
| 140l/s
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分子泵启动时间
| ≤2min
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空载极限压强
| ≤1x10-4pa
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真空测量方式
| 冷阴极标准规管
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真空测量范围
| 1e﹢2到1e-5 pa
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真空测量精度
| 1e-4到1e-5 pa ±40%的读数 1e﹢2到1e-4 pa ±20%的读数 重复性： ±5%
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抽气接口
| kf25
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阀门类型
| kf25手动挡板阀
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系统电源
| ac220v
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系统功率
| ≤1kw
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环境温度
| 5~32℃
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冷却方式
| 强制风冷却
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湿度
| ≤80%rh
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外形尺寸
| 250
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重量
| 25kg
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随机配件：kf25高真空挡板阀x1个 kf25卡箍x3个 kf25-1米不锈钢波纹管x1根 说明书x1本 电源线x1根 冷阴极真空计x1个
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